Renishaw雷尼绍XL-80激光干涉仪详细介绍

Renishaw雷尼绍XL-80激光干涉仪

校准是过程控制的基础

现代工业需要满足日益严格的公差、客户计划以及国际质量标准的要求。与此同时，还要承受降低成本的压力，因此生产设备的工作性能受到的重视。测量和校准设备可提供帮助。

给设备制造商带来的好处：

·在制造过程中对机器进行测试和诊断；

·建造精度更高的机器；

·改进机器设计；

·减少机器制造周期时间；

·提供专业的维护服务；

·证明符合规范。

给设备用户带来的好处：

·符合ISO 9000系列标准；

·对机器性能进行分级，为每一项作业选择更佳机器；

·通过监测磨损情况，计划并更大限度减少机器停机时间；

·从竞争对手那里赢得高精度加工合同；

·提高产量；

·通过识别自身的误差来源延长机器使用寿命。

移动速度：4m/s

激光稳频精度:±0.05 ppm

测量精度：±0.5 ppm

测量长度范围：0-80m

分辨率：0.001um。

轴向量程0-15m

角度精度：±0.002A ±0.5 ±0.1M微弧度

角度精度（已校准）：±0.0002A ±0.5 ±0.1M微弧度

分辨率：0.1 μm/m

轴向量程 ：（短距离）0.1 m - 4.0 m

（长距离）1 m - 30 m

直线度测量范围：±2.5 mm

激光干涉测量可提供更***和可重复的校准方法

激光干涉测量

使用光的波长作为测量单位的基本原理在19世纪80年代左右开始提出。从

那以后起，这一原理虽然历经发展和完善，但始终以测量光波干涉为依据，因此

得名“干涉测量”。

激光系统射出的光波具有三种主要特性：

·已知***波长，可实现准确测量；

·波长非常短，可实现***或高分辨率测量；

·所有光波相位相同，可根据已知的基准进行测量。

干涉测量是一种相对运动测量（从初始位置开始测量），而不是一种绝队测量（从特定位置开始测量）。不同的光学镜组将激光光束穿过不同的路径，可从单个激光装置进行多种模式测量（例如，线性、角度、直线度）。

环境补偿

无论您的激光装置多么准确和稳定，激光的测量波长都会因其传播环境而改变。气温、气压和相对湿度的任何变化都将导致测量误差。

若没有可靠准确的波长补偿，即使在典型的环境条件下，也常常会出现20ppm（百万分之一）的线性测量误差。通过应用***的环境补偿，可将这些误差降至±0.5ppm。

XL-80激光系统简介

·计算机软件 — 简单易用但功能强大的软件。

·标准连接 — 通过USB连接XL-80和XC-80。

·可信度 — XL系统的所有测量模式（不仅仅是线性测量）均采用激光干涉原理，因此您可以充分信赖所有的测量精度。

·无线光学镜组 — 在整个轴行程上进行测量时可免受电缆拖拽的影响

·激光稳频精度 — 通过热控制技术将激光管长度变化控制在几纳米范围内，达到3年内精度保持在±0.05 ppm（百万分之一）。

·方便准直调整 — 轻巧的光学镜组和快速的夹具解决方案。获得的光学镜组提供非重叠输出并返回激光束以简化准直调整。

·可溯源的测量 — 干涉测量直接受益于激光波长的可溯源性。雷尼绍的校准结果可溯源至国际度量衡委员会 (CIPM) 相互承认协议 (MRA)的签约者，CIPM MRA为全球提供了统一的测量标准。

·灵活 — 适用于数字方波信号输出（出厂设定选项）和外触发信号输入的连接。

·热稳定性 — 激光热源远离测量光学镜组。阳极氧化铝壳光学镜组比钢制光学镜组对环境适应速度快10倍，而且轻巧耐用。

·易于安装 — 信号强度LED指示灯和激光校准特性简化安装和加快使用。

·便携 — 凭借小巧轻便的设计，整个系统可用非常容易携带的“轮式便携箱”进行运输，一套线性系统加箱子仅重12kg。

·*** — 在0 °C - 40 °C (32 °F- 104 °F) 温度范围内保持完全测量精度。

·即装即用 — XC-80还配备外接空气温度传感器和材料温度传感器。该系统附带供电电源、一本综合使用手册和所有的电缆。